Produktkategori
Kontakt os

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co., Ltd.


Adresse:

Plant No.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


Tlf:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Service hotline
029 3358 2330

Nyheder

Hjem > NyhederIndhold

Retningslinjer og forholdsregler ved brug af Metal Sputtering Mål

Retningslinjer og forholdsregler ved brug af Metal Sputtering Mål

Først sputtering forberedelse

Det er meget vigtigt at holde vakuumkammeret, især sputtersystemet rent. Eventuelle rester dannet af smøreolie og støv og forbelægning samler vanddamp og andre forurenende stoffer, der direkte påvirker vakuumniveauet for at opnå og øge muligheden for filmfejl. Metal Sputtering Mål Kortslutning eller mål startbue, filmoverflade ruhed og kemiske urenheder overskredes ofte på grund af urent sputtering rum, sputtering pistol og mål forårsaget. For at opretholde sammensætningen af ​​belægningsegenskaberne skal forstøvningsgas (argon eller oxygen) være ren og tør, sputteringskammer i substratet efter behovet for at ekstrahere luften for at opnå den nødvendige vakuumproces. Mørke områdesafskærmninger, hulrumsvægge og tilstødende overflader skal også holdes rene. Ved rengøring af vakuumkammeret anbefaler vi brugen af ​​sprøjtemetode til glaskugler til at håndtere snavsdele samtidig med trykluft for at fjerne hulrummet omkring forspraderingsresten og derefter aluminiumoxidimprægneret sandpapir forsigtigt på overfladen af poleringen. Efter polering af gasbindet, skyll derefter med alkohol, Metal Sputtering målretter acetone og deioniseret vand, og anbefaler brug af industriel støvsuger til ekstra rengøring.

FORSIGTIG: Når du bruger målet, skal du holde rene og ubeskyttede beskyttelseshandsker og undgå direkte kontakt med målet

For det andet er målet rent

Formålet med målrengøringen er at fjerne støv eller snavs, som kan være til stede på overfladen af ​​målet.

Metal mål kan rengøres med fire trin,

Det første trin i acetonen gennemblødt i den fnugfri bløde klud ren;

Det andet trin svarer til det første trin med alkohol;

Det tredje trin er at vaske med deioniseret vand. Efter vask med deioniseret vand blev målet derefter anbragt i en ovn og tørret ved 100 ° C i 30 minutter.

Rengøring af oxid- og keramisk målrengøring med en "fnugfri klud".

Trin 4 Når du har fjernet det beskidte område, skylder målingen med Metal Sputtering mål med argon ved højt tryk og lav fugtighed for at fjerne alle urenheder, som kan forårsage bue i forstøvningssystemet

For det tredje målsætningen

Det vigtigste, der skal bemærkes under installationen af ​​målet, er at sikre, at der etableres en god termisk forbindelse mellem målet og sputtering pistolens kølevæg. Hvis kølevægens stivhed er svær, eller bøjningen af ​​bagpladen er alvorlig, opstår knæk eller bøjning, når målet er monteret, og varmeledningsevnen af ​​bagmål til målet vil blive stærkt påvirket, resulterer Metal Sputtering Targets, hvilket resulterer i varme i forstøvningsprocessen Fordelingen vil i sidste ende resultere i målspredning eller off-target

For at sikre tilstrækkelig termisk ledningsevne kan et lag af grafit polstres mellem katodekølvæggen og målet. Sørg for nøje at kontrollere og afklare fladheden af ​​sputtering pistolens kølevæg, mens du sikrer, at O-ringen altid er i position.

På grund af renhedsgraden af ​​det anvendte kølevand og den mulige forurening af udstyret under driften af ​​udstyret er det nødvendigt at inspicere og rense katodekølervandtanken, når målene installeres for at sikre glat strømning af kølevand og indløb og udløb Vil ikke blokeres.

Nogle af katodedesignet er mindre med anodgapet, Metal Sputtering Targets, så installationen af ​​målet skal sikre, at katoden og anoden ikke er i kontakt med lederen, ikke kan eksistere, da det ellers vil give kortslutning.

Se producentens instruktioner for at få oplysninger om, hvordan du korrekt installerer målet. Hvis du ikke har disse oplysninger i brugervejledningen, så prøv at følge de anbefalede anbefalinger. Ved fastspænding af målarmaturet skal du først stramme en bolt for hånden og derefter stramme en anden bolt på diagonalen. Metal Sputtering Målene gentages så, indtil alle bolte er monteret, og stram derefter værktøjet